ציוד הייצור המוני הראשון לניקוי חומצות הידרופלואוריות בסין הועבר בהצלחה למפעל הפאנל

ניקוי חומצות הידרופלואוריות הוא קישור מפתח בתהליך התצוגה. אפקט הניקוי שלה משפיע ישירות על הביצועים הסופיים, היעילות והיציבות של מבנה המכשיר, וקשור לשיעור התשואה של המוצר הסופי. ניקוי חומצות הידרו -פלואוריות לא רק מסיר זיהומים על פני השכבה הפעילה אלא גם מפסיד את פני השטח, ובכך מפחית את יכולת הספיחה של זיהומי הממשק. הדרישות לניקיון פני השטח מחמירות מאוד ותיאורטיות אינן מאפשרות נוכחות של חלקיקים, יוני מתכת או דבקים אורגניים. שכבות אדי מים ותחמוצת מחוברות דורשות שטוח ברמה האטומית על פני השטח כדי להבטיח את אמינות התהליך של התהליך שלאחר העיבוד.